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J-GLOBAL ID：200903002414139033

表示用パネル基板の検査装置

Inventor： 尾石 上人 ,  小坂 裕 ,  植木 勲
Applicant, Patent owner： 株式会社日本マイクロニクス
Agent (1)： 松永 宣行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000067324
Publication number (International publication number)：2001255232
Application date： Mar. 10, 2000
Publication date： Sep. 21, 2001
Summary：

【要約】【目的】 高分解能及び高精度のテレビカメラを不要にしてコストを下げると共に、寸法の異なるパネル基板の検査に容易に対応し得ること【解決手段】 検査装置は、複数の光電変換素子を第1の方向にほぼ直線状に配置した2以上のラインセンサを用い、パネル基板にプローブユニットから通電しつつ、ラインセンサをパネル基板と閉口の面内で第1の方向と交差する第2の方向へ移動させて、パネル基板を検査する。寸法の異なるパネル基板を検査するときは、第1の方向におけるラインセンサの相対的位置が変更される。

Claim (excerpt)：

表示用パネル基板を受ける検査ステージと、該検査ステージに受けられたパネル基板を前記検査ステージと反対の側から撮影する撮影装置と、前記パネル基板の電極部に接触される複数の接触子を備えるプローブユニットとを含み、前記撮影装置は、光を電気信号に変換する複数の光電変換素子を前記パネル基板と平行の第1の方向に配置した2以上のラインセンサと、該ラインセンサを前記パネル基板と平行の面内で前記第1の方向と交差する少なくとも第2の方向へ移動させるセンサ移動機構とを備え、前記2以上のラインセンサは、前記第2の方向に隣り合う状態に及び前記第1の方向における相対的位置を変更可能に前記センサ移動機構に配置されている、表示用パネル基板の検査装置。

IPC (3)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101

FI (3)：

G01M 11/00 T ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101

F-Term (13)：

2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AC15 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G086EE10 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 液晶表示装置の検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-242293   Applicant：シャープ株式会社
• 画像読み取り装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-183608   Applicant：ソニー株式会社