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J-GLOBAL ID:200903002447201176

加速度センサとその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 草野 卓
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991158676
Publication number (International publication number):1993005749
Application date: Jun. 28, 1991
Publication date: Jan. 14, 1993
Summary:
【要約】【目的】 広範囲の製造設備を不要とし、製造コストを低下させる。【構成】 セラミック基板より成るベース5上に第1電極2を印刷し、その上に多層の圧電セラミックスブロック1を印刷により作製し、その上に第2電極3を印刷し、その上に多層のおもり4を印刷により作製する。第1、第2電極2,3間に高電界を印加して圧電セラミックスブロック1を分極させる。
Claim (excerpt):
セラミック基板より成るベース部上に導体ペーストを印刷、焼成して第1電極を形成し、その第1電極上に、圧電体ペーストを所定回数印刷、焼成して、圧電セラミックスブロックを形成し、その圧電セラミックスブロック上に導体ペーストを印刷、焼成して第2電極を形成し、その第2電極上に金属又は非金属のペーストを所定回数印刷、焼成して、おもりを形成し、前記第1、第2電極間に高電界を印加して、前記圧電セラミックスブロックを分極させることを特徴とする、加速度センサの製造方法。

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