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J-GLOBAL ID：200903002451197388
レーザモニタ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐々木 聖孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993044604
Publication number (International publication number)：1994237028
Application date： Feb. 09, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：
【要約】[目的]断続的に出力されるレーザ光について精度の高いレーザパワー測定値を得るようにし、モニタリングの信頼性を向上させる。[構成]ビームスプリッタ22で反射された一部のレーザ光LBは、光減衰板34を通ってレーザ光検出器36に入射し、そこで電気信号なレーザ光検出信号DSに変換される。このレーザ光検出信号DSは積分回路40に供給される。積分回路40は、CPU46の制御を受けるタイミング回路42からの積分スタート信号KS ,積分ホールド信号KH ,積分リセット信号KE にしたがって、レーザ光検出信号DSをレーザ出力期間のみ所定の累積期間にわたって積分する。CPU46は、積分回路40からの積分値を基にレーザパワー測定値を算出する。
Claim (excerpt)：
レーザ光のレーザパワーをモニタするレーザモニタ装置において、前記レーザ光が出力されている期間と出力されていない期間とを判別するレーザ出力判別手段と、前記レーザ光の一部または全部を受光し、前記レーザ光のレーザ出力に対応した電気的なレーザ光検出信号を発生するレーザ光検出手段と、前記レーザ出力判別手段の判別に基づいて前記レーザ光検出手段からの前記レーザ光検出信号を前記レーザ光が出力されている期間のみ所定の累積時間にわたって積分する積分手段と、前記積分手段の前記所定の累積時間にわたる積分によって得られた積分値に基づいて前記レーザ光のレーザパワー測定値を求めるレーザパワー算出手段と、を具備することを特徴とするレーザモニタ装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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