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J-GLOBAL ID：200903002468400829

電子銃及び該電子銃を備えた電子線転写装置

Inventor：
中筋 護

About 中筋 護


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995338373
Publication number (International publication number)：1997180663
Application date： Dec. 26, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：
【要約】【課題】 広い視野に均一な強度分布の電子線を照射できると共に、必要に応じて輝度の可変範囲を広く取れる電子銃を提供する。【解決手段】 カソード31の電子ビームEBの放出面31aを円形の平面に加工する。カソード31から光軸AXに沿って順にウェーネルト34、アノード35、及びアース電極36を配置する。ウェーネルト34は、先端部34cの上面34aを開き半角θ1が67.5°の円錐面となるように加工し、アノード35は、先端部35dの上面35aをカソード31に対して凸の円錐面となるように加工し、底面35bをカソード31に対して凹の円錐面として、アノード35にはカソード31の電位より100V〜10kV高い可変電位を印加する。アース電極36の底面36bをアノード35に対して凸の円錐面とする。
Claim (excerpt)：
電子線の放出面が円形状の平面に形成されたカソードから電子線の放出方向に順次、前記カソード以下の電位が印加された集束電極と、前記カソードより高い電位が印加されたアノードと、接地された接地電極と、を配置したことを特徴とする電子銃。
IPC (4)：
H01J 37/073 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027
FI (4)：
H01J 37/073 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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