Pat

J-GLOBAL ID：200903002468835744

光スキャナ、光センサ装置及び符号情報読み取り装置並びに符号情報読み取り方法

Inventor： 武村 賢治 ,  池田 正哲
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995070808
Publication number (International publication number)：1996240782
Application date： Mar. 02, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 モータなどの外乱振動に強い2次元走査可能な小型の光スキャナを提供する。【構成】 曲げ変形モードを有する曲げ弾性変形部3aの一端を片持ち状に振動入力部4に支持させ、その他端には連設部5を設ける。ねじれ変形モードを有する2本のねじれ弾性変形部3bによってスキャン部6を連設部5と振動入力部5に支持させた振動子1を、シリコンウエハなどから一体として形成する。振動入力部4には駆動源2の振動面を接合し、スキャン部6には光ビームrを反射するミラー部7を設ける。【効果】 曲げ弾性変形部及びねじれ弾性変形部には、それぞれ曲げ応力及び剪断応力しか加わらず、疲労破壊や衝撃破壊に強くなる。また、弾性変形部の厚さTを薄くし、長さLを短くして小型で高速走査が可能になる。

Claim (excerpt)：

光ビームを反射するスキャン部と、第1の軸の回りに前記スキャン部を回動させる第1の弾性変形部と、前記第1の軸方向と交差する方向を向いた第2の軸の回りに前記スキャン部を回動させる第2の弾性変形部と、前記二つの弾性変形部に振動を伝える加振部と、前記加振部に振動を印加する加振源と、を備えたことを特徴とする光スキャナ。

IPC (2)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10

FI (3)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 C ,  G02B 26/10 A