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J-GLOBAL ID：200903002470163729
走査電子顕微鏡の焦点合わせ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998243067
Publication number (International publication number)：2000077018
Application date： Aug. 28, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 本発明は走査電子顕微鏡の焦点合わせ装置に関し、対物絞りの軸合わせを精度よく行なうことができる走査電子顕微鏡の焦点合わせ装置を提供することを目的としている。【解決手段】 対物絞りの位置合わせのため、加速電源の電圧を周期的に変化させるウォブラ信号発生装置と、各加速電圧での記憶されている指定倍率と、実際に設定された倍率とを比較する比較手段と、比較の結果、設定された倍率が指定倍率以下の場合には、対物レンズの電流を制御する手段と、比較の結果、設定された倍率が指定倍率以上の場合には加速電源の電圧を制御する手段とにより構成される。
Claim (excerpt)：
対物絞りの位置合わせのため、加速電源の電圧を周期的に変化させるウォブラ信号発生装置と、各加速電圧での記憶されている指定倍率と、実際に設定された倍率とを比較する比較手段と、比較の結果、設定された倍率が指定倍率以下の場合には、対物レンズの電流を制御する手段と、比較の結果、設定された倍率が指定倍率以上の場合には加速電源の電圧を制御する手段とにより構成される走査電子顕微鏡の焦点合わせ装置。
F-Term (2)：
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