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J-GLOBAL ID：200903002489559070

電磁力制御式超小型ミラ-アレイ

Inventor： ディーン・トラン ,  エドワード・エイ・レゼク ,  エリック・アール・アンダーソン ,  ウィリアム・エル・ジョーンズ
Applicant, Patent owner： ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999325368
Publication number (International publication number)：2000155274
Application date： Nov. 16, 1999
Publication date： Jun. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】 デジタル画像処理の用途で使用するための超小型ミラー装置を提供する。【解決手段】 超小型ミラー装置(10)には、デジタル画像処理の用途で使用するための回転自在の光学素子(22)が設けられている。超小型ミラー装置(10)は、凹所(14)が形成された半導体ウェーハ(12)と、光学素子(22)を付着した、凹所(14)の側面に移動自在に連結されたプラットホーム(20)とを含む。第1磁界源(24)がプラットホーム(20)の光学素子(22)の周囲に亘って配置されており、第2磁界源(26)が、この第1磁界源(24)と近接して、これらの磁界源を選択的に賦勢することによってプラットホーム(20)を回転するための電磁界を発生するように配置されている。更に詳細には、第2磁界源(26)は、凹所(14)の角度をなした側面に、又はウェーハ(12)の上面に凹所(14)と隣接して配置されている。

Claim (excerpt)：

デジタル画像プロセッサで使用するための超小型ミラー装置において、凹所が形成された基材と、前記基材に回転可能に取り付けられたプラットホームと、前記プラットホームに付着させた光学素子と、前記プラットホームに付着させた第1磁界源と、前記プラットホームの近くに付着させた第2磁界源とを有し、前記第1及び第2の磁界源は、前記プラットホームを作動するための電磁界を発生するために選択的に賦勢できる、超小型ミラー装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 変位検出機能を備えたプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-009824   Applicant：江刺正喜, 日本信号株式会社