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J-GLOBAL ID：200903002492641985
光走査型変位測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996069862
Publication number (International publication number)：1997257418
Application date： Mar. 26, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：
【要約】【課題】 光ビームの走査方向での位置を初期に設定した所定位置に維持することができる光走査型変位測定装置を提供する。【解決手段】 被測定物に光ビームを照射して投光スポットを形成する投光手段1と、投光スポットからの反射光を受光してその受光位置に対応して信号を出力する受光手段2と、被測定物の基準面からその基準面と変位した変位面までの距離を受光手段2からの信号に基づいて演算する距離演算手段3と、投光手段1及び受光手段2を定位置に取り付けた架台43が走行して光ビームを走査する走査手段4と、光ビームの走査方向での位置を検出する位置検出手段5と、を備え、被測定物の表面を光ビームが走査して、投受光平面12aの三角形を測定する三角測量法でもって測定する光走査型変位測定装置において、走査方向における前記光ビームの所定位置からのずれ量を校正する校正手段71が設けられた構成にしてある。
Claim (excerpt)：
被測定物に光ビームを照射して投光スポットを形成する投光手段と、投光スポットからの反射光を受光してその受光位置に対応して信号を出力する受光手段と、被測定物の基準面からその基準面と変位した変位面までの距離を受光手段からの信号に基づいて演算する距離演算手段と、投光手段及び受光手段を定位置に取り付けた架台が走行して光ビームを走査する走査手段と、光ビームの走査方向での位置を検出する位置検出手段と、を備え、被測定物の表面を光ビームが走査して、基準面から変位面までの距離を光ビームの投光軸と反射光の受光軸とで形成される投受光平面の三角形を測定する三角測量法でもって測定する光走査型変位測定装置において、走査方向における前記光ビームの所定位置からのずれ量を校正する校正手段が設けられたことを特徴とする光走査型変位測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/00 F
, G01C 3/06 A
