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J-GLOBAL ID:200903002507653977

露光装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997077017
Publication number (International publication number):1998268219
Application date: Mar. 28, 1997
Publication date: Oct. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】 露光装置内のポリゴンミラーとfθレンズの距離を変える必要がなく、かつカバーする部材を省略できて、コンパクトな露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 コンパクトな露光装置を提供するため、画像データを光変調する半導体レーザと、高速に回転するポリゴンモータ31と、ポリゴンモータ31の軸上に配置され、変調されたレーザ光を走査するポリゴンミラー32と、走査されたレーザ光を所定のレーザ光のビーム径に絞り込むfθレンズ35と、レーザ光を所定の角度に折り返す折り返しミラー34を有し、折り返しミラー34をポリゴンミラー32とfθレンズ35間の光路に配置し、露光装置のハウジング37によりポリゴンモータ31及びポリゴンミラー32をカバーし、カバー部にfθレンズ35を配置する。
Claim (excerpt):
ハウジングと、画像データを光変調する半導体レーザと、高速に回転するポリゴンモータと、前記ポリゴンモータの軸上に配置され、変調されたレーザ光を走査するポリゴンミラーと、走査されたレーザ光を所定のレーザ光のビーム径に絞り込むfθレンズと、レーザ光を所定の角度に折り返す折り返しミラーを有し、前記折り返しミラーを前記ポリゴンミラーと前記fθレンズ間の走査光路に配置したことを特徴する露光装置。
IPC (3):
G02B 26/10 ,  G02B 26/10 102 ,  H04N 1/113
FI (3):
G02B 26/10 F ,  G02B 26/10 102 ,  H04N 1/04 104 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開平4-335316
  • 特開平1-251058
  • 特開平4-335316
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