物体搬送装置および物体搬送方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003325843
Publication number (International publication number)：2005093764
Application date： Sep. 18, 2003
Publication date： Apr. 07, 2005
Summary：

【課題】搬送時の衝突に起因する不具合を防止することができる物体搬送装置および物体搬送方法を提供することを目的とする。【解決手段】搬送対象の物体であるウェハホルダ4を保持部15によって保持してチップ供給部1とマガジン9との間を目標位置に向かって搬送する物体搬送装置において、ウェハホルダ4をチャックする保持部15をアーム16を介してエアシリンダ17のロッド17aに結合し、エアシリンダ17を移動手段11によって移動するブラケット14に装着する。搬送動作においてウェハホルダ4が異物に衝突した場合には、保持部15が目標位置への離反方向へ移動してロッド17aが突出または没入方向へ移動することにより衝突時の衝撃を緩和するとともに、エアシリンダ17に備えられたシリンダ動作検出センサ18によって衝突を検知して搬送動作を停止する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

搬送対象の物体を保持部によって保持して目標位置に搬送する物体搬送装置であって、圧縮性流体によって作動し前記保持部に結合されたロッドを有する流体シリンダであって前記ロッドを突没させることにより前記保持部を前記目標位置への接近方向またはこれと逆方向の離反方向へ移動させ、且つ前記ロッドの突没動作において出戻り限界に到達したことを検出する検出手段を備えた流体シリンダと、この流体シリンダを前記接近方向または離反方向へ移動させる移動手段と、前記物体が前記目標位置へ移動するように前記移動手段の移動動作および前記流体シリンダのロッド突没動作を制御する制御部とを備え、前記物体を保持した保持部が移動して前記物体を搬送する搬送動作において物体が異物に衝突した場合に、前記保持部が前記離反方向へ移動して前記ロッドが突出または没入方向へ移動することにより衝突時の衝撃を緩和するとともに、前記検出手段によって衝突を検知することを特徴とする物体搬送装置。

IPC (3)：

H01L21/68 , B65G49/06 , H01L21/50

FI (3)：

H01L21/68 A , B65G49/06 , H01L21/50 C

F-Term (22)：

5F031CA02 , 5F031CA20 , 5F031DA13 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031GA02 , 5F031GA12 , 5F031GA36 , 5F031GA43 , 5F031GA45 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031JA01 , 5F031JA30 , 5F031JA31 , 5F031JA51 , 5F031LA12 , 5F031LA15 , 5F031MA35 , 5F031PA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

チップの供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-075415 Applicant：松下電器産業株式会社
物品搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-319260 Applicant：東芝精機株式会社
特開平2-291144

Cited by examiner (2)

物品搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-319260 Applicant：東芝精機株式会社
特開平2-291144

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