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J-GLOBAL ID:200903002513906089

基板収納トレイ用パレットおよび基板移載システム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003336499
Publication number (International publication number):2005104475
Application date: Sep. 26, 2003
Publication date: Apr. 21, 2005
Summary:
【課題】それぞれに1枚の基板が収納された多数の基板収納トレイから基板を効率よく取り出す。【解決手段】基板収納トレイ用パレットAは、ガラス基板が水平状態で載置される基板収納トレイを上下方向に積み重ねた状態で輸送するために使用される。基板収納トレイは、底部に、基板を上方に持ち上げるための基板取出し具が挿入される開口部が設けられている。基板収納トレイ用パレットAは、パレット本体上にシャッター体80が設けられており、シャッター体80には、上面に載置された基板収納トレイの開口部に対向して、基板取出し具34が挿入されるシャッター体開口部81x〜81zが形成されている。シャッター体開口部81x〜81zは、シャッター部材84x〜84zによってそれぞれ開閉される。【選択図】 図7
Claim (excerpt):
基板が水平状態で載置され該基板を上方に持ち上げるための基板取出し具が挿入される開口部が設けられ、上下方向に積み重ね可能に形成された基板収納トレイを搬送するために使用される基板収納トレイ用パレットであって、 前記基板収納トレイが上面に載置されるようになっており、載置された基板収納トレイの開口部に対向して、前記基板取出し具が挿入される基板取出し具挿入用開口部が形成されている、基板収納トレイ用パレット。
IPC (5):
B65D85/86 ,  B65D19/44 ,  B65G49/06 ,  B65G59/06 ,  H01L21/68
FI (6):
B65D85/38 K ,  B65D19/44 D ,  B65G49/06 Z ,  B65G59/06 101Z ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 U
F-Term (45):
3E063AA23 ,  3E096AA01 ,  3E096AA15 ,  3E096BA20 ,  3E096BA24 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CA21 ,  3E096CB02 ,  3E096DA04 ,  3E096DA18 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA03X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA16 ,  3E096FA19 ,  3E096FA22 ,  3E096FA28 ,  3E096GA05 ,  3F030AA04 ,  3F030AB04 ,  5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031DA20 ,  5F031EA02 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031GA08 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA35 ,  5F031GA53 ,  5F031GA55 ,  5F031KA20 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031PA18
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (4)
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