Pat
J-GLOBAL ID:200903002514337320

ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 松浦 憲三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994101181
Publication number (International publication number):1995308919
Application date: May. 16, 1994
Publication date: Nov. 28, 1995
Summary:
【要約】【目的】ワイヤー洗浄効果を向上させ、かつ洗浄液の外部飛散を防止することができるワイヤーソーのワイヤー洗浄装置を提供する。【構成】洗浄液62が貯留してある洗浄槽60内に、ワイヤー14が洗浄液62中を走行するように案内するガイドローラ72を設けるとともに、ガイドローラ72のワイヤー14の走行方向上流側と下流側に、それぞれガイドローラ72の回転でワイヤー14の走行方向と逆方向に回転する回転ブラシ64を設置する。これにより、ワイヤー14は回転ブラシによりブラッシングされるので洗浄効果が向上する。また、回転ブラシ64の上方には、洗浄槽60内に送り込まれるワイヤー14と送りだされるワイヤー14に対してエアノズル74を設ける。これにより、ワイヤー14は洗浄終了後に、付着している洗浄液62をエアで吹き飛ばしてから外部に送りだされるので、洗浄液62が洗浄槽60外で飛散するのを防止することができる。
Claim 1:
一方のリールと他方のリールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワイヤー走行路に設けられ、前記ワイヤーに付着した前記加工液を洗浄するワイヤーソーのワイヤー洗浄装置において、前記ワイヤー洗浄装置は、前記ワイヤーを洗浄する洗浄液を貯留する洗浄槽と、前記洗浄槽内に回動自在に設けられ、前記ワイヤーが洗浄液内を走行するように案内するとともに、走行するワイヤーに係合して回転するガイドローラと、前記洗浄槽内に回動自在に設けられ、前記ワイヤーをブラッシングする回転ブラシと、前記ガイドローラの回転力を前記回転ブラシの回転動力として伝達する動力伝達機構と、前記洗浄槽内に設けられ、洗浄の終了したワイヤーにエアを吹きつけるエアノズルと、を備えていることを特徴とするワイヤーソーのワイヤー洗浄装置。
IPC (5):
B28D 7/00 ,  B08B 7/04 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 311

Return to Previous Page