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J-GLOBAL ID：200903002520520560

分析電子顕微鏡用蛍光板

Inventor： 長沖 功 ,  廣瀬 賢治
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993173951
Publication number (International publication number)：1995029533
Application date： Jul. 14, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、電子エネルギー損失の分析と、その分析部分の像観察を迅速かつ簡単に行える分析電子顕微鏡を提供することにある。【構成】3段変角度式小穴付蛍光板搭載の透過電子顕微鏡と、バッフルと、扇形電磁石と、フォーカス用磁場4重極レンズと、平面計測器による構成による分析電子顕微鏡。【効果】(1)取り込みの短い時間に分析部分の観察,像拡大率が簡単に行える。(2)蛍光板の穴が通常の観察時の視野のじゃまにならない。(3)蛍光板のとその機構の改造が簡単に行える。

Claim (excerpt)：

真空中で加速された電子ビームを発生させ細くしぼる機構と、その電子ビームが透過する薄い試料と、電子ビームを結像する機構と、その電子ビームを通過出来る穴の開いた蛍光板と、螢光板の角度を制御する機構と、電子ビームの開き角を制御するバッフルと、エネルギー損失を分析する扇形磁場と、扇形磁場の後に分散を可変する磁場4重極レンズと、分散された電子ビームを同時に検知する平面検知器を配置した分析電子顕微鏡において、通常の蛍光板を水平に置いた観察及び蛍光板を上げてルーペでの観察の時は電子ビームは蛍光板の穴から外れ、試料を透過した電子ビームのエネルギー損失を分析する時は蛍光板の穴から電子ビームが通過出来るような角度に傾けられることを特徴とする分析電子顕微鏡用蛍光板。

IPC (2)：

H01J 37/22 501 ,  H01J 37/26