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J-GLOBAL ID:200903002524005067

電気特性測定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小池 晃 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993129785
Publication number (International publication number):1994342010
Application date: May. 31, 1993
Publication date: Dec. 13, 1994
Summary:
【要約】【目的】 安定性及び再現性に優れ、且つ深さ方向分解能の向上が図られた電気特性の測定方法を提供する。【構成】 試料1の主面1aを研磨角θで角度研磨してなる傾斜面1bに対し、探針5a,5bを送り幅aで相対的に移動させながら逐次接触させて拡がり抵抗を測定するに際し、上記探針5a,5bの移動方向Fを上記試料1の主面1aと傾斜面1bとがなす稜Eに対して方位角φなる角度に設定する。
Claim (excerpt):
試料の主面の一部を角度研磨してなる傾斜面に対し、探針を所定の直線方向に沿って相対的に移動させながら逐次接触させることにより、該試料の電気特性を測定する電気特性測定方法において、上記探針を上記試料の主面と傾斜面とがなす稜に対して斜め方向に相対的に移動させることを特徴とする電気特性測定方法。
IPC (2):
G01R 1/067 ,  H01L 21/66

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