プラズマ放電を発生させるためのスロット付導波管構造

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：奥山尚一 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000573139
Publication number (International publication number)：2002526903
Application date： Oct. 01, 1999
Publication date： Aug. 20, 2002
Summary：

【要約】導波管構造(1)は、導波管(2)の壁内に機械加工されている少なくとも1つの形状化スロット(3)を有する。導波管(2)がハイパワーマイクロ波により励起されると、スロット(3)の幅にわたり、高電圧が発生するようにスロット(3)は形成される。スロットの領域内に発生する強い電界は、スロット(3)の近傍の作業ガス(9)内に非平衡プラズマ放電(7)を生成するのに使用されることが可能である。様々な基板が、スロット(3)を通過して並進されて、マイクロ波放電により発生するプラズマ種に曝露される。スロット付導波管構造(1)は、マイクロ波エネルギーが、スロット(3)の長さに沿って均等に消散される状態で、進行波構造として動作するようにデザインされている。本構造は、様々なガスおよびガス混合物を使用して、約10トルから大気圧、即ち760トルまでの圧力領域にわたり動作するようにデザインすることができる。

Claim (excerpt)：

(a)電源を具備し、(b)導波管構造を具備し、前記導波管構造は、前記電源から電力を受取るために電気的に接続され、かつその表面に沿って走行するスロットを有し、前記電源が、前記導波管構造に電力を供給すると、この電力は、(1)進行電磁波で、前記導波管構造の電力入力端から電力出力端へ向かって導波管構造に沿って伝搬し、(2)前記スロットの近傍の放電領域内で作業ガス内での非平衡プラズマ放電を発生させるのに充分に高い電圧を、前記スロットの幅にわたり電流を発生させる前記導波管構造内に誘導する、プラズマ発生器。

IPC (2)：

H05H 1/46 , B01J 19/08

FI (2)：

H05H 1/46 B , B01J 19/08 E

F-Term (10)：

4G075AA30 , 4G075AA41 , 4G075CA26 , 4G075CA47 , 4G075CA65 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EB21 , 4G075EC30 , 4G075FC15

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