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J-GLOBAL ID：200903002538615046

薄膜太陽電池及びその製造方法

Inventor： 三宮 仁 ,  立花 伸介
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998302611
Publication number (International publication number)：2000133828
Application date： Oct. 23, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 太陽電池セル間、薄膜太陽電池とフレーム間の短絡を防止しうる薄膜太陽電池及びその製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 透光性基板上に該基板の周囲から所定の幅をカバーした第1マスクを用いて酸化亜鉛膜を形成し、第1マスク除去後酸化亜鉛膜を所定厚さエッチングすることにより透明電極を第1マスクで覆われていない領域にのみ形成すると共にその表面に凹凸を形成し、透明電極上に光電変換活性層及び裏面電極を順次形成することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法及びこの方法により得られた薄膜太陽電池により上記課題を解決する。

Claim (excerpt)：

透光性基板上に該基板の周囲から所定の幅をカバーした第1マスクを用いて酸化亜鉛膜を形成し、第1マスク除去後酸化亜鉛膜を所定厚さエッチングすることにより透明電極を第1マスクで覆われていない領域にのみ形成すると共にその表面に凹凸を形成し、透明電極上に光電変換活性層及び裏面電極を順次形成することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。

IPC (2)：

H01L 31/04 ,  H01M 14/00

FI (2)：

H01L 31/04 M ,  H01M 14/00 P

F-Term (16)：

5F051AA05 ,  5F051BA11 ,  5F051CB27 ,  5F051FA02 ,  5F051FA13 ,  5F051FA16 ,  5F051FA19 ,  5F051GA03 ,  5F051GA05 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB00 ,  5H032BB05 ,  5H032EE02 ,  5H032EE07 ,  5H032HH06