Pat

J-GLOBAL ID：200903002542489900

弾性表面波素子の製造方法

Inventor： 高橋 裕輔 ,  田中 敏晴 ,  近藤 健雄 ,  清瀬 功 ,  柴田 賢一
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 西野 卓嗣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992101169
Publication number (International publication number)：1993299960
Application date： Apr. 21, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 弾性表面波素子の製造工程における素子の静電破壊を防止する。【構成】 各弾性表面波共振子の入力電極1と出力電極2とグランド電極5とを幅太補助パターン7a及び幅狭補助パターン7bで全て接続し、入力電極1側と出力電極2側の電位差を無くして、静電破壊を防止する。また、幅狭補助パターン7bはダイシング工程において切断され、各弾性表面波共振子が電気的に分離するように構成されている。

Claim (excerpt)：

入力電極と出力電極とを有する弾性表面波素子を圧電基板のウエハ上に形成し、前記弾性表面波素子の入力電極と出力電極とを補助パターンによって接続し、入力電極側の電位と出力電極側の電位とを同電位にしたことを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-293808
  
• 特開昭59-008420
  
• 特開昭58-043607