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J-GLOBAL ID：200903002580200360

ペレットの分類・分離方法

Inventor： 小池 明弘 ,  中川 清
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993085033
Publication number (International publication number)：1994302673
Application date： Apr. 13, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電気的特性やその他の特性で配分のある製品の分類・分離において、作業者の介在をなくして分類範囲の決定および分離を自動化し、省人化および分類精度の向上を図ることができるペレットの分類・分離方法を提供する。【構成】 対象製品を機械的方法により分離するペレット分類・分離装置であって、粘着テープ1に貼り付けられたペレット2が搭載され、X軸およびY軸方向に駆動される可動ステージ3と、分離すべき範囲のチップ4を真空吸着し、X軸、Y軸およびZ軸方向に駆動される吸着ノズル5などから構成される。そして、検査後の特性値から特性の境目の境界線6が粘着テープ1に自動的に描画され、この境界線6の内側または外側の必要な範囲のみのチップ4がX軸、Y軸およびZ軸方向に移動される吸着ノズル5により真空吸着されて自動的に分離される。

Claim (excerpt)：

対象製品を特性値に基づいて配分するペレットの分類・分離方法であって、前記対象製品の特性を検査後、該検査された特性値に基づいて分類すべき境目を自動的に描画し、該描画された境目に基づいて分類すべき範囲のチップのみを分離することを特徴とするペレットの分類・分離方法。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/78