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J-GLOBAL ID：200903002581624261
分光型走査顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
薄田 利幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991344573
Publication number (International publication number)：1993172741
Application date： Dec. 26, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】走査型光学顕微鏡において、構成を大きく変えずに分光機能を付加する。【構成】光源1、レンズ40、41、検出器31の光学系をもつ走査光学顕微鏡の検出光学系に直視プリズム80及び直視プリズム80で分光された光60、61を分離検出する光検出器32を使用する。【効果】直視プリズムは中心波長に対して偏角を零にできるので、中心で検出される光で形成される画像は従来の走査光学顕微鏡のものと同じであり、走査光学顕微鏡の構成はほとんど変わらない。
Claim (excerpt)：
光源からの光の焦点位置に試料を配置する機構と、上記光を収束して上記試料に照射する光学系と上記試料又は上記収束光を走査する走査機構と、上記試料からの光を分光する直視プリズムと、上記直視プリズムで分光された光を検出する光検出器と、上記試料における上記光の照射位置と上記光検出器の出力とを対応付けて表示する表示手段とを含んで構成されたことを特徴とする分光型走査顕微鏡。
IPC (5)：
G01N 21/27
, G01N 21/64
, G02B 5/04
, G02B 21/06
, G02B 26/10
