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J-GLOBAL ID：200903002582693895

圧電検出素子

Inventor： 梅村 敏夫 ,  山田 朗 ,  前田 智佐子 ,  佐藤 剛彦 ,  内川 英興
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998070273
Publication number (International publication number)：1999271351
Application date： Mar. 19, 1998
Publication date： Oct. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】 小型でかつ温度係数を小さくできしかも高感度で加速度、磁界等の物理量を検出することができる圧電検出素子を提供する。【解決手段】 中央部に開口部を有する基板と、開口部を実質的に覆いかつ開口部において印加される物理量に対応して変形可能となるように開口部の周辺部で基板に固定された金属膜と、印加される物理量に応答して開口部において金属膜を変形させるために設けられた作用体と、開口部の金属膜の変形に対応して変形するように該金属膜に接して又は離れて設けられた圧電膜とを備え、印加される物理量に対応する電気信号を出力する。

Claim (excerpt)：

中央部に開口部を有する基板と、上記開口部を実質的に覆いかつ上記開口部において印加される物理量に対応して変形可能となるように上記開口部の周辺部で上記基板に固定された金属膜と、上記印加される物理量に応答して上記開口部において上記金属膜を変形させるために設けられた作用体と、上記開口部の上記金属膜の変形に対応して変形するように該金属膜に接して又は離れて設けられた圧電膜とを備え、上記印加される物理量に対応する電気信号を出力することを特徴とする圧電検出素子。

IPC (3)：

G01P 15/09 ,  G01L 1/16 ,  G01R 33/038

FI (3)：

G01P 15/09 ,  G01L 1/16 ,  G01R 33/038