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J-GLOBAL ID：200903002588683506

リフロー方法

Inventor： 延寿 秀俊
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 尾川 秀昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994079925
Publication number (International publication number)：1995273189
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 リフロー終了後のウェハの引き出し時における雰囲気中の不純物の酸化による異物の発生を防止する。【構成】 リフローを行う炉の温度を、待機時には第1の温度(例えば700°C)に保ち、リフロー時にはその第1の温度より高い第2の温度(例えば893°C)まで高め、ウェハ引出し時には第2の温度よりも低い第3の温度(例えば650°C)まで低くし、引き出し終了後第1の温度に戻す。

Claim (excerpt)：

リフローを行う炉の温度を、待機時には第1の温度に保ち、リフロー時にはその第1の温度より高い第2の温度まで高め、ウェハ引出し時には第2の温度よりも低い第3の温度まで低くし、引き出し終了後第1の温度に戻すことを特徴とするリフロー方法