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J-GLOBAL ID：200903002597853910

被検査面の欠陥検査方法

Inventor： 鈴木 裕 ,  今西 正則 ,  吉田 清
Applicant, Patent owner： 日産自動車株式会社
Agent (1)： 八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996270276
Publication number (International publication number)：1998115595
Application date： Oct. 11, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 被検査面に存在する欠陥を確実に検出する。【解決手段】 被検査面1を、その撮像部位Aが時間の経過と共に移動するように移動させ、任意の時刻ごとに撮像手段2からの画像を入力し、この入力した互いに撮像時刻の異なる2枚の画像のそれぞれから欠陥候補点Bを抽出し、後に撮像された画像の欠陥候補点Bの周囲に誤差範囲を設定し、前に撮像された画像の欠陥候補点Bを被検査面又は撮像手段の移動距離に応じて移動させ、その誤差範囲内に存在する欠陥候補点の内、この移動後の欠陥候補点Bに最も近い欠陥候補点をマッチ候補とし、以上の処理を時系列的に撮像された複数の画像に対して行い、所定回数以上マッチ候補として挙がった欠陥候補点Bを前記被検査面1上に存在する欠陥であると決定する。

Claim (excerpt)：

被検査面の撮像部位を撮像手段によって撮像する第1段階と、当該撮像部位の画像から抽出された欠陥を欠陥候補点として登録する第2段階と、次に前記被検査面又は前記撮像手段のいずれか一方を前記撮像部位の大部分が重複して撮像されるように移動させて異なる撮像部位を撮像する第3段階と、当該撮像部位の画像から抽出された欠陥を欠陥候補点として登録する第4段階と、後に撮像された画像に基づいて登録された欠陥候補点の周囲に誤差範囲を設定する第5段階と、前に撮像された画像に基づいて登録された欠陥候補点を前記被検査面又は前記撮像手段の移動距離に応じて移動させる第6段階と、移動後の欠陥候補点が後に撮像された画像に基づいて登録された欠陥候補点の誤差範囲内に存在しているか否かを判断する第7段階と、前記移動後の欠陥候補点が当該誤差範囲内に存在している場合には、誤差範囲内に存在している欠陥候補点の内、移動後の欠陥候補点に最も近い欠陥候補点のみをマッチ候補として登録してマッチ回数を1に設定する第8段階と、再度、前記被検査面又は前記撮像手段のいずれか一方を前記撮像部位の大部分が重複して撮像されるように移動させて異なる撮像部位を撮像する第9段階と、当該撮像部位の画像から抽出された欠陥を欠陥候補点として登録する第10段階と、後に撮像された画像に基づいて登録された欠陥候補点の周囲に誤差範囲を設定する第11段階と、前回マッチ候補として登録された欠陥候補点および前回撮像された画像に基づいて新たに登録された欠陥候補点を前記被検査面又は前記撮像手段の移動距離に応じて移動させる第12段階と、移動後のこれらの欠陥候補点が後に撮像された画像に基づいて登録された欠陥候補点の誤差範囲内に存在しているか否かを判断する第13段階と、前記移動後のこれらの欠陥候補点が当該誤差範囲内に存在している場合には、誤差範囲内に存在している欠陥候補点の内、移動後の欠陥候補点に最も近い欠陥候補点のみをマッチ候補として登録する一方、今回マッチ候補として登録された欠陥候補点が前回以前にマッチ候補として登録された欠陥候補点である場合には、マッチ回数を1加算する第14段階と、以上の第9段階から第14段階までの処理を複数回繰り返す間に、マッチ回数が所定回数以上になった欠陥候補点を前記被検査面に存在する欠陥であると決定する第15段階とからなることを特徴とする被検査面の欠陥検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00

FI (3)：

G01N 21/88 J ,  G01B 11/30 G ,  G06F 15/62 400