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J-GLOBAL ID：200903002612128012

レーザー光の位置及び強度検出方法及び装置

Inventor： 島田 悟 ,  福田 隆史 ,  松田 宏雄 ,  曹 忠 ,  アグス ハリヨノ
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  島田 悟 ,  福田 隆史 ,  松田 宏雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000236341
Publication number (International publication number)：2002048510
Application date： Aug. 04, 2000
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 レーザー光の位置と強度を安価な装置により検出する。【解決手段】 水晶振動子1の表面に金属薄膜2を設け、リード線3を介して水晶振動子信号入力部6に接続し、レーザー光照射手段5から照射されるレーザー光をこの水晶振動子1の金属薄膜2に当て、その信号を水晶振動子信号入力部6に入力する。その信号のうち共振周波数を共振周波数計測部7において計測する。この共振周波数は水晶振動子に照射されたレーザー光の中心からの位置と所定の関係にあるので、その関係に基づきレーザー光照射位置測定部9においてレーザー光の照射位置を測定することができる。また、出力計測部8において入力信号中の出力を計測する。その出力は水晶振動子の共振周波数と所定の関係にあるので、レーザー光照射強度測定部10では前記共振周波数計測部7における共振周波数に基づきレーザー光4の実際の照射強度を測定する。

Claim (excerpt)：

水晶振動子の表面にレーザー光を照射して水晶振動子の共振周波数を計測し、予め得られたレーザー光の照射位置と共振周波数の関係のデータにより、レーザー光の照射位置を測定することを特徴とするレーザー光の照射位置検出方法。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G01J 1/02 ,  H01S 3/00

FI (3)：

G01B 11/00 C ,  G01J 1/02 K ,  H01S 3/00 G

F-Term (22)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB02 ,  2F065BB29 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ28 ,  2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065AB05 ,  2G065AB09 ,  2G065BA40 ,  2G065DA05 ,  5F072HH02 ,  5F072JJ08 ,  5F072KK30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特公昭47-024628