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J-GLOBAL ID：200903002615189179
フォトマスク用ホルダー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992057304
Publication number (International publication number)：1993224401
Application date： Feb. 12, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】 厚みの異なるフォトマスクを一つのホルダーで保持する。【構成】 マスクホルダー本体11の上面側にマスク嵌挿穴13内へ突出するストッパー14を設ける。マスクホルダー本体11に押し付け具16を有するマスク押圧部材15を進退自在に設け、この押し付け具16を圧縮コイルばね18で付勢する。押し付け具16の先端に、フォトマスク12の側部に接する傾斜面を形成した。フォトマスク12は上面がストッパー14に当接してマスク嵌挿穴13内に位置決めされ、マスク押圧部材15でマスクホルダー本体11に保持される。厚みの異なるフォトマスクでも上面が常に一定位置に位置決めされる。
Claim 1：
フォトマスクがホルダー本体のマスク嵌挿穴に装着されるフォトマスク用ホルダーにおいて、前記ホルダー本体の上面側にマスク嵌挿穴内へ突出するストッパーを設け、かつマスク嵌挿穴をフォトマスクがホルダー本体の裏側から挿脱自在な開口径に形成し、このホルダー本体に、先端押圧部がマスク嵌挿穴に臨むマスク押圧部材をマスク嵌挿穴の中央に対して進退自在に設け、このマスク押圧部材とホルダー本体との間に前記先端押圧部をマスク嵌挿穴の中央側へ付勢する押圧ばねを介装すると共に、先端押圧部の先端に、上側へ向かうにしたがって次第にマスク嵌挿穴の開口幅が狭まる傾斜面を形成したことを特徴とするフォトマスク用ホルダー。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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