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J-GLOBAL ID：200903002632408917

静電型アクチュエータ及びその製造方法

Inventor： 土屋 太一
Applicant, Patent owner： ミヨタ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004093786
Publication number (International publication number)：2005283678
Application date： Mar. 26, 2004
Publication date： Oct. 13, 2005
Summary：

【課題】 低電圧の印加であっても可動部の変位量を増加でき、安定した駆動ができる静電型アクチュエータを得る。【解決手段】 少なくとも、半導体基板上に、揺動軸を中心に揺動する可動部と、該可動部と対向する位置に形成される固定部と、前記可動部移動線上に形成されるストッパー部を備え、前記可動部にはミラー部と電極部と前記半導体基板と導通させるための接触部が形成され、前記固定部には電極部が形成され、前記可動部に形成した電極部と、該電極部と対向する部位に設けられた固定部に形成した電極部との間に静電力を発生させ、前記半導体基板の上面に沿って揺動軸を中心に揺動駆動する駆動手段とを備えた静電型アクチュエータとする。【選択図】図1

Claim 1：

少なくとも、半導体基板上に、揺動軸を中心に揺動する可動部と、該可動部と対向する位置に形成される固定部と、前記可動部移動線上に形成されるストッパー部を備え、前記可動部にはミラー部と電極部と前記半導体基板と導通させるための接触部が形成され、前記固定部には電極部が形成され、前記可動部に形成した電極部と、該電極部と対向する部位に設けられた固定部に形成した電極部との間に静電力を発生させ、前記半導体基板の上面に沿って揺動軸を中心に揺動駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (5)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/10 ,  H02N1/00

FI (5)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/10 104Z ,  H02N1/00

F-Term (9)：

2H041AA11 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73