Pat

J-GLOBAL ID：200903002636140307

異物分析方法

Inventor： 北村 正
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992195412
Publication number (International publication number)：1994043124
Application date： Jul. 22, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 異物検査装置からの異物位置座標の精度が悪く、異物検出視野内で異物が発見できない場合、自動的に視野を移動しながら異物を検出する機能により自動化、省力化をはかる。【構成】 走査型電子顕微鏡を用い、ベアウエハ等の表面の異物を、異物検査装置からの異物位置座標に基づき異物を探し、分析する方法。異物が探索視野内にない場合は、最も異物の存在しそうな位置から順次、自動的に視野を移動し、その視野内の画像から検出指標として分散値を計算して、計算後走査済みの分割視野の中で最も異物の検出指標の大きいものから順に番号付けと視野内の異物部分の認識を行い、オペレータに表示する。【効果】 本方法では、オペレータの負荷を減らすだけではなく、ミスによって異物を見逃す確率も減少した。

Claim (excerpt)：

高精度ステージ上の試料に電磁レンズにより細く絞られた電子線を走査して照射し、試料から発生する情報を信号として取り出し、試料像を表示しうる走査型電子顕微鏡を用い、ベアウエハ等の表面の異物を、異物検査装置からの異物位置座標に基づき、最も異物の存在しそうな位置から順次、自動的に視野を移動しながら異物を検出し、その結果を表示する異物分析方法。

IPC (4)：

G01N 23/225 ,  G06F 15/64 325 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66