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J-GLOBAL ID：200903002638183992

多極電界電子放出装置及びその製造方法

Inventor： 小松 博志
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 菅 直人 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992080380
Publication number (International publication number)：1993182582
Application date： Mar. 02, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 入力抵抗が大きく、伝達特性が線形であり、相互コンダクタンスの大きな電力増幅器等の応用に適し、かつゲート無効電流が少ない多極電界電子放出装置及びその製造方法を提供する。【構成】 絶縁性平面基板の表面に設けられた絶縁層上に形成され、該絶縁層よりオーバーハングした複数の放出突起を有するカソード電極、該絶縁性平面基板の表面に形成された放出電子を収集せしめるアノード電極、該カソード電極と該アノード電極の間に設けられたコントロール電極を少なくとも有する多極電界電子放出装置である。過剰エッチング法、方向性粒子堆積法等の方法によって製造される。

Claim (excerpt)：

電界効果にて電子を放出せしめるカソード電極と、前記カソード電極に電界を印加せしめるゲート電極と、放出電子を収集せしめるアノード電極と、前記カソード電極と前記アノード電極の間に設けられ、前記放出電子を制御せしめるコントロール電極とを少なくも具備することを特徴とする多極電界電子放出装置。

IPC (3)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02 ,  H01J 21/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-226635
  
• 特開平3-040332
  
• 特開平1-154426