ダイシング装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993321203
Publication number (International publication number)：1995153719
Application date： Nov. 26, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】正確な深さの切断加工をすることができるダイシング装置を提供する。【構成】顕微鏡37を上下動させてチャックテーブル12の上面に対し焦点を合わせる。そして、裏面に支持テープを張りつけたウエハをチャックテーブル12上に固定し、顕微鏡37を移動させてウエハの上面に対し焦点を合わせる。ダイシング装置のNC装置は、この時の顕微鏡37の移動量をチャックテーブル12の上面位置に加えることでウエハの上面位置を求める。そして、求めたウエハ上面位置を基準に、スピンドルモータ29によって回転したブレード27をウエハに切り込ませると共に、X軸テーブル15及びY軸テーブル25を移動させて所定深さの切断加工を行う。

Claim (excerpt)：

半導体ウエハが固定される加工テーブルと、前記半導体ウエハを切断するための刃具と、前記加工テーブルの上方に配置される顕微鏡と、この顕微鏡を上下動させて焦点を合わせる焦点調整手段と、この焦点調整手段により前記加工テーブルの上面と前記半導体ウエハの上面に焦点を合わせた場合の前記顕微鏡の位置から前記半導体ウエハの上面位置を測定する上面位置測定手段と、この上面位置測定手段で測定された半導体ウエハの上面位置を基準に前記刃具を前記半導体ウエハに切り込ませる切り込み手段とを具備することを特徴とするダイシング装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭63-246208
特開平4-184208
特開昭63-246208

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