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J-GLOBAL ID：200903002660097609

移載装置

Inventor：
秦 吉 孝

About 秦 吉 孝

, 
池 田 豊

About 池 田 豊


Applicant, Patent owner：
株式会社エイ・ケイ・システム

About 株式会社エイ・ケイ・システム


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005310082
Publication number (International publication number)：2007119111
Application date： Oct. 25, 2005
Publication date： May. 17, 2007
Summary：
【課題】板状被処理材の昇降自由度の拡大、加重に対する緩衝変形量の低減と取り扱い重量制限の大幅な緩和、載置姿勢の安定維持、各種取り扱い動作の所定姿勢・高さ・平面・位置調整精度の向上により、高効率、高稼働率、安全搬送処理を実現させる。【解決手段】レール式搬送走行装置100の基部に、円形レール式旋回装置200を介して、平行昇降リフト装置300を設け、これに多段水平ステージのテレスコープ式平面前後動装置400を装着し、その最前水平ステージ404に、板状被処理材の載置用の一対の固定水平アームとその間に接近離間可能にした一対の可動水平アーム501、502を装着し、これらアームの上面に板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマ503、504を複数装備した。【選択図】図1
Claim 1：
レール式搬送走行装置の基部に、円形レール式旋回装置を介して、平行昇降リフト装置を設け、これに多段水平ステージのテレスコープ式平面前後動装置を装着し、その最前水平ステージに、板状被処理材の載置用の一対の可動水平アームを接近離間可能にした装着し、この可動水平アームに板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマを複数装備したことを特徴とする移載装置。
IPC (2)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/677
FI (2)：
B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A
F-Term (15)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA06 ,  5F031GA35 ,  5F031GA38 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA57 ,  5F031KA03 ,  5F031LA12 ,  5F031LA14 ,  5F031PA16 ,  5F031PA30
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)

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