Pat
J-GLOBAL ID：200903002683980992
振動型赤外線センサ、振動型赤外線イメージャ、及び赤外線検出方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993260346
Publication number (International publication number)：1995083756
Application date： Sep. 10, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 赤外線の高感度、高速応答、室温計測を目指した振動型赤外線センサ、イメージャ、及び赤外線検出方法を提供する。【構成】 微小な赤外線受光部1、熱絶縁部2、2’および固定部3、3’で構成される機械的振動子を検出素子とする振動型赤外線センサ並びにこれらを多数基板上に配置した赤外線イメージャ、及び赤外線検出方法に関し、小形で高感度、高速で高精度な赤外線計測が室温で行えることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
機械的振動子を検出素子として有することを特徴とした振動型赤外線センサ。
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
