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J-GLOBAL ID：200903002693525142
接着シートの貼付方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997186122
Publication number (International publication number)：1999031702
Application date： Jul. 11, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】作業性に優れ、コストダウンを図ることができ、しかも正確に貼付することができる接着シートの貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シート20をプレス機30で接着寸法に打ち抜いてキャリアフィルム10に貼り付け、キャリアフィルム10の位置合わせ用の穴13に位置決めピン14を挿通し、接着シート20が貼り付けられたキャリアフィルム10を基体40が載置された貼付装置31に搬送し、貼付金型32を用いてキャリアフィルム10の側から接着シート20を加圧して基体40に転写する。この後、基体40上に転写した接着シート20上に半導体チップ50を載せ、加熱および加圧しながら接着シート20に接着する。
Claim (excerpt)：
キャリアフィルムの一面に所定形状の接着シートを打ち抜き貼付し、貼付された前記接着シートを前記キャリアフィルムから被着体に転写することを特徴とする接着シートの貼付方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/52 E
, B26F 1/00 F
