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J-GLOBAL ID：200903002699677130

形状測定装置

Inventor： 岸田 任晤 ,  岩田 国良 ,  今藤 元寿 ,  砂原 秀一 ,  川瀬 昌男 ,  小関 修 ,  樋口 和則 ,  山本 新
Applicant, Patent owner： 株式会社東海理化電機製作所 ,  トヨタ自動車株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 中島 淳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992123414
Publication number (International publication number)：1993312534
Application date： May. 15, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 被測定面の表面の粗さや反射等の状態に拘わらず高分解能で光点位置を特定する。【構成】 2次元CCDセンサ40のスリット像の出力信号は増幅回路32を介してコンパレータ18に入力される。コンパレータ18はしきい値電圧(Vth)と信号を比較し、しきい値電圧以上のときハイレベル信号を整形回路16に出力する。整形回路16は入力信号を遅延させることにより立ち上がり及び立ち下がり滑らかな対称の信号に波形整形して、スイッチ14が補正側Eの状態のときアナログデジタル変換器34を介して加重平均回路20に出力する。加重平均回路20は、入力された信号に基づいて整形回路16で遅延された時間を補正すると共に加重平均によって中心位置を求める。

Claim (excerpt)：

被測定面へスリット光を照射する照射手段と、被測定面で反射された光を受光しかつ受光位置に応じた光強度信号を出力する位置検出手段と、受光した光の幅方向の受光位置に応じた光強度が、予め定められた基準値以上のときハイレベルになる比較信号を出力する比較手段と、前記比較信号を左右対称でかつ中心を含む領域と、その信号の大きさが最大になるように波形整形した整形信号を出力する波形整形手段と、前記整形信号の光強度に対応する値を重みとして前記整形信号の受光位置に対応する値の加重平均を演算する加重平均演算手段と、を備えた形状測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00