Pat

J-GLOBAL ID：200903002704121820

研磨剤スラリーおよびその製造方法

Inventor： 山田 勉
Applicant, Patent owner： 株式会社岡本工作機械製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998198110
Publication number (International publication number)：2000015560
Application date： Jun. 30, 1998
Publication date： Jan. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 表面が平坦で、スクラッチ(傷)のないアルミニウム磁気ヘッドを与える研磨剤スラリーの提供。【解決手段】 a)平均粒径が0.05〜1μm の酸化アルミニウム砥粒であって、粒径が5μm以上の酸化アルミニウム砥粒の含有量が50ppm以下である砥粒 0.1〜10重量%、b)水 64.9〜99重量%、c)硝酸アルミニウム 0.1〜1重量%、d)ノニオン性界面活性剤 0.1〜3 重量%、e)EDTA-2Na塩 0.1〜1重量%、f)ポリエチレングリコール 0.5〜20重量%含有する、アルミニウム磁気ヘッド基板用研磨剤スラリー。

Claim (excerpt)：

平均粒径が0.05〜1μm の砥粒を0.1 〜10重量%水性媒体に分散させた研磨剤スラリーであって、研磨剤スラリー中の粒径が5μm以上の砥粒の含有量が50ppm以下であることを特徴とする研磨剤スラリー。

IPC (4)：

B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (4)：

B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 C ,  H01L 21/304 622 D ,  H01L 21/304 622 B

F-Term (6)：

3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB02 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17