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J-GLOBAL ID:200903002715308078
自動バックアップ装置
Inventor:
,
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
油井 透 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997037857
Publication number (International publication number):1998177939
Application date: Feb. 21, 1997
Publication date: Jun. 30, 1998
Summary:
【要約】【課題】 必要な処理履歴データが失われてしまうことを極力防止可能な自動バックアップ装置を提供する。【解決手段】 自動バックアップ装置は、半導体基板の処理時に、その処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルF2のバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定部50と、半導体基板の処理時に、バックアップ条件設定部50によって設定された条件が成立すると、データファイルF2を自動的にバックアップするブロックコントローラ20とを有する。
Claim (excerpt):
基板の処理時に、その処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルのバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定手段と、前記基板の処理時に、前記バックアップ条件設定手段によって設定された前記バックアップ条件が成立すると、前記データファイルを自動的にバックアップするバックアップ手段とを備えたことを特徴とする自動バックアップ装置。
IPC (3):
H01L 21/02
, G05B 23/02 301
, G06F 12/16 310
FI (3):
H01L 21/02 Z
, G05B 23/02 301 V
, G06F 12/16 310 M
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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半導体製造装置の制御装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-182106
Applicant:国際電気株式会社
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情報処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-006026
Applicant:キヤノン株式会社
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