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J-GLOBAL ID：200903002730949969
紫外線照射装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004214534
Publication number (International publication number)：2006040944
Application date： Jul. 22, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：
【課題】 装置の小型化を飛躍的に図ることができるとともに、保守点検の容易性、紫外線照射の作業性及び省電力化を達成することのできる紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】 紫外線硬化型粘着剤層を介して保護シートSが貼付された半導体ウエハを被照射体とし、これに相対する位置に複数の紫外線発光ダイオード21を基板20上に配置した紫外線照射部12が設けられている。発光ダイオード21は、ウエハとの相対移動方向に対して略直交する複数列の直線L1上に等間隔を隔てて配置されているとともに、各列において隣り合っている発光ダイオード21間に、隣接する列の発光ダイオードの一部が位置するように配置されている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
被照射体に相対する位置に複数の紫外線発光ダイオードを配置するとともに、これら被照射体と発光ダイオードが相対移動可能に設けられた紫外線照射装置において、
前記発光ダイオードは、前記相対移動方向と略直交する複数列の直線上に等間隔を隔てて配置されているとともに、各列において隣り合っている発光ダイオード間に、隣接する列の発光ダイオードの一部が位置するように配置されていることを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L33/00 L
, H01L23/50 Z
5F041AA14
, 5F041BB03
, 5F041DC26
, 5F041FF16
, 5F067BA00
