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J-GLOBAL ID：200903002739254890

外観検査方法及び装置

Inventor： 酒井 覚 ,  渋谷 伸実 ,  中村 裕 ,  谷口 茂樹 ,  肥塚 哲男
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 松本 眞吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993269272
Publication number (International publication number)：1995120234
Application date： Oct. 27, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】試料上のパターンの高さをより正確に検出して外観検査をより正確に行う。【構成】ガスレーザ14から放射された光ビームを試料10上に照射しかつ走査させ、試料10上の照射点からの反射光を受光して該照射点の明るさ及び高さを検出し、印加電圧に応じて入射光強度に対する透過光強度が制御される光変調器38を、該光ビームの光路中に配置し、検出された該明るさが略一定になるように、光強度調節回路40及び可変電圧源42を介し光変調器38に印加する電圧Vを制御する。

Claim (excerpt)：

レーザ(14)から放射された光ビームを、基材(10a)表面にパターン(10b)が形成された試料(10)上に照射しかつ走査させ、該試料上の照射点からの反射光を受光して該照射点の明るさ及び高さを検出し、該明るさ及び高さに基づいて該試料を外観検査する外観検査方法において、印加電圧に応じて入射光強度に対する透過光強度が制御される光変調器(38)を該光ビームの光路中に配置し、検出された該明るさが略一定になるように該光変調器に印加する電圧を制御することを特徴とする外観検査方法。

IPC (4)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (2)：

G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/64 325 H