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J-GLOBAL ID：200903002745565539
ダイシングテープ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994250196
Publication number (International publication number)：1996088202
Application date： Sep. 20, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ウェーハの切削と同時にブレードをドレッシング出来るようにした、ダイシングテープを提供する。【構成】 フレームにウェーハを保持するための粘着テープに砥粒を混入してブレードのドレッシング機能を付与する。
Claim (excerpt)：
フレームにウェーハを保持するための粘着テープに砥粒を混入し、ブレードのドレッシング機能を付与したことを特徴とするダイシングテープ。
IPC (3)：
H01L 21/301
, B24B 53/00
, B28D 7/04
