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J-GLOBAL ID：200903002745582255

時系列データの位相検出方法、位相検出装置、半導体露光装置およびプログラム記憶媒体

Inventor： 松谷 茂樹
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999052046
Publication number (International publication number)：2000249515
Application date： Feb. 26, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 信号中の特定周波数成分の位相を、ノイズに強く検出することができるようにする。【解決手段】 特定の周波数成分を固有に含む有限のサンプル数の時系列データをスペクトル分解して最大パワー強度の周波数f0を抽出する分解工程と、上記周波数f0を少なくとも含む有限数の時系列データを抽出する抽出工程と、これらの有限数の時系列データに基づいて前記周波数f0のフーリエ成分D0を演算する第1の演算工程と、得られたフーリエ成分に基づいて当該特定周波数の信号の位相情報を演算する第2の演算工程とを具備する。

Claim (excerpt)：

特定の周波数成分を固有に含む有限のサンプル数の時系列データをスペクトル分解して最大パワー強度の周波数f0を抽出する分解工程と、上記周波数f0を少なくとも含む有限数の時系列データを抽出する抽出工程と、これらの有限数の時系列データに基づいて前記周波数f0のフーリエ成分D0を演算する第1の演算工程と、得られたフーリエ成分に基づいて当該特定周波数の信号の位相情報を演算する第2の演算工程とを具備することを特徴とする時系列データの位相検出方法。

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  G06F 17/14 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G01B 11/00 A ,  G03F 9/00 H ,  G06F 15/332 A ,  H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 525 W

F-Term (28)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF00 ,  2F065FF01 ,  2F065JJ19 ,  2F065LL04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ34 ,  2F065UU05 ,  5B056BB12 ,  5B056BB52 ,  5B056BB71 ,  5B056HH00 ,  5F046BA03 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046ED02 ,  5F046FA09 ,  5F046FA16 ,  5F046FC04 ,  5F046FC05