Pat

J-GLOBAL ID：200903002752914417

レビューシステム

Inventor： 水野 文夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999079173
Publication number (International publication number)：2000275184
Application date： Mar. 24, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】チップ単位でレビューすべき微粒子・パターン欠陥を決め、チップ単位で微粒子・パターン欠陥の致命性を把握することが可能となり、該微粒子やパターン欠陥が歩留に及ぼす影響度をより正確に予測できるようにする。【解決手段】チップに分割して使用するための基板を試料とし、該基板上の欠陥をレビューするためのレビューシステムにおいて、(1)各欠陥を種類別に区分するとともに、それらが存在するチップのアドレス番号を付ける機能、(2)各欠陥を、該チップアドレス番号に基づいて、チップ単位にグループ分けする機能、(3)各チップを、該チップに存在する欠陥の種別に応じて、グループ化する機能、(4)チップ・グループ毎に、レビュー対象チップおよびレビュー欠陥を選定する機能を有する。

Claim (excerpt)：

チップに分割して使用するための基板を試料とし、該基板上の欠陥をレビューするためのレビューシステムにおいて、(1)各欠陥を種類別に区分するとともに、それらが存在するチップのアドレス番号を付ける機能、(2)各欠陥を、該チップアドレス番号に基づいて、チップ単位にグループ分けする機能、(3)各チップを、該チップに存在する欠陥の種別に応じて、グループ化する機能、(4)チップ・グループ毎に、レビュー対象チップおよびレビュー欠陥を選定する機能を有するレビューシステム。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 15/00 ,  H01L 21/02

FI (3)：

G01N 21/88 645 A ,  G01B 15/00 B ,  H01L 21/02 A

F-Term (23)：

2F067AA45 ,  2F067AA62 ,  2F067CC15 ,  2F067CC17 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL00 ,  2F067LL16 ,  2F067PP12 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB04 ,  2G051AB07 ,  2G051AC22 ,  2G051BB19 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB05 ,  2G051EC01