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J-GLOBAL ID：200903002775839439

位置合わせ装置

Inventor： 竹内 宏之 ,  山本 正樹 ,  青木 新一郎 ,  寒川 潮
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992034608
Publication number (International publication number)：1993231820
Application date： Feb. 21, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 各種露光装置に使用される位置合わせ装置に関するもので、露光波長と異なるアライメント波長での色収差を補正し、レチクル上の位置合わせマーク像を補正光学系及びレンズを介してウェハ上に結像させることにより、投影光学系を通してレチクルとウェハの高精度な位置合わせを行うことのできる位置合わせ装置を提供することをを目的とする。【構成】 レチクル1と投影レンズ3の間に補正光学系7及び空間フィルタを設け、レチクル上の位置合わせマーク5の存在する特定領域の色収差を補正することにより、レチクル上の位置合わせマーク像をウェハ上に結像させる。レチクルと投影レンズ間のアライメント光光路に定常的な空気の流れを形成することにより、空気のゆらぎによる影響を殆ど受けないようになっており、ウェハ上位置合わせマーク6での反射回折光12を空間フィルタリングしスペックルを除去した後、アライメント信号を光検出器15で検出し位相比較を行うことによりレチクルとウェハの位置合わせを行う。

Claim (excerpt)：

投影光学系の物体面上に位置する第1の物体に設けられた回折格子と、投影光学系の像面上に位置する第2の物体に設けられた位置合わせマークと、露光波長と異なる波長を持つ2周波のコヒーレントなアライメント光を出射する光源と、前記第1の物体上の特定領域に対応して第2の物体面上で正しく結像させるよう前記投影光学系の色収差を補正する補正光学系と、前記第2の位置合わせマークから戻る光からスペックルパターンを除去する空間フィルタリング用光学系と、前記空間フィルタリング用光学系を通過した光から光ビート信号を検出するための光検出手段と、少なくとも前記第1の物体と投影レンズ間のアライメント光の通過する領域において空気のゆらぎ状態を制御する制御手段とを備えた位置合わせ装置。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027