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J-GLOBAL ID：200903002778233167

電子顕微鏡用試料ホルダ

Inventor： 青山 隆 ,  細井 紀舟 ,  三沢 豊 ,  木本 浩司 ,  砂子澤 成人 ,  上田 和浩
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992281310
Publication number (International publication number)：1994068828
Application date： Oct. 20, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】試料ホルダにおける試料の位置を高精度に制御することを目的とする。【構成】試料台を熱良導体で、外枠を断熱体で構成し、また、軸受ロッドを低熱伝導体で構成する。【効果】試料の温度分布が均一になり、温度ドリフトが小さくなる。また、試料台傾斜用ロッドの熱膨張が傾斜角に影響を与えない。このため、電子顕微鏡による高精度の観察と種々の測定ができる。

Claim (excerpt)：

外枠内に試料台を設置した電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料台を形成する材料の熱伝導率を前記外枠を形成する材料の熱伝導率よりも大きくすることを特徴とした電子顕微鏡用試料ホルダ。