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J-GLOBAL ID：200903002781888280

ウェハー貯蔵及び運搬用のコンテナ

Inventor： ジョン・ビー・グッドマン ,  カーク・ジェイ・ミケルセン
Applicant, Patent owner： フルオロウェア・インコーポレーテッド
Agent (1)： 岡田 英彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992356749
Publication number (International publication number)：1994092389
Application date： Dec. 21, 1992
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 半導体ウェハーを汚染することなく貯蔵するためのコンテナ及び方法の提供。【構成】 コンテナはシールされた上部と底部とを有する。半導体ウェハーを部分真空の中で貯蔵するためのガス受容用ステム及びバルブを有する。一部は薄いコンテナ壁を有する。この薄い壁は半導体ウェハーの端部と隣接するフレキシブルな膜からなっている。この膜は引き付けられてウェハーに当接し、ウェハーをコンテナ内で所定の位置に保持する。閉じられたコンテナの壁はダイヤモンド状のコーティングによって被われている。ウェハーをマルチ部材のコンテナの中に収容し、コンテナをシールし、コンテナ内のガス圧力を下げることによって修正し、空気を不活性ガスに置き換えてガス雰囲気を変え、開けるときに粒子をできる限り含まない空気を内部に供給することによってコンテナ内の真空圧力を緩和する。

Claim (excerpt)：

硬い材料からなるウェハー貯蔵及び運搬用のコンテナであって、個々のウェハーを離間した状態で互いに対向する形に保持するためのスペーサ部材を備えた内側部分を有し、また前記内側部分へアクセスできるようにするために互いに分離可能なディスクリート部を有し、前記ディスクリート部が解放可能かつ密閉された状態で一体にシールされ、前記ディスクリート部の一つがバルブの設けられたガスポートを有していて前記内側部分の中のガス雰囲気の一部を引き抜いたり一部を追加したりすることを容易にしているコンテナ。

IPC (2)：

B65D 85/38 ,  B65D 85/00