プローブ及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松永宣行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998204613
Publication number (International publication number)：2000039446
Application date： Jul. 21, 1998
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【目的】先端部の耐摩耗性を大きくし、しかも電気的な接触抵抗を小さくすることにある。【解決手段】プローブは、導電性の外表面を有する長いプローブ母材と、該プローブ母材の少なくとも先端部表面に形成された硬質炭素膜であって硼素、窒素等の1種以上の不純物により導電性にされた硬質炭素膜とを備える。

Claim (excerpt)：

導電性の外表面を有する長いプローブ母材と、該プローブ母材の少なくとも先端部表面に形成された硬質炭素膜であって1種以上の不純物により導電性にされた硬質炭素膜とを備える、プローブ。

IPC (2)：

G01R 1/067 , H01L 21/66

FI (2)：

G01R 1/067 G , H01L 21/66 B

F-Term (8)：

2G011AA17 , 2G011AC13 , 2G011AC14 , 2G011AC21 , 2G011AE03 , 4M106BA01 , 4M106DD03 , 4M106DD18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平2-186203
特開昭62-293734
特開昭63-182501

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