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J-GLOBAL ID：200903002791058838

イオンミリング装置およびイオンミリングの終点検出方法

Inventor： 国宗 依信
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 尾身 祐助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998181814
Publication number (International publication number)：2000021851
Application date： Jun. 29, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【目的】 TEM観察用試料の膜厚を正確にコントロールできるようにする。試料の作成を自動化できるようにすると共に作成時間を大幅に短縮する。【構成】 アルゴンイオン銃1により試料3上にアルゴンイオン2を照射してイオンミリングを行う。試料3上にはレーザ光源4によりレーザ光が照射される。レーザ光の反射光像は画像取り込み装置5により取り込まれ、ディスプレイ6に表示される。画像データの試料3上のTEM観察領域の部分は終点判定装置7へ転送される。終点判定装置7は、入力される観察領域の画像データの膜厚変化と予め記憶されている反射光パターンとを比較して、試料3の観察領域の膜厚が所望の値に到達したと判定したらアルゴンイオン銃1に停止信号を発信する。

Claim 1：

試料を載置する試料台と、試料表面にイオンビームを照射するイオン発生器と、試料表面にレーザビームを照射するレーザ光源と、試料表面の画像データを取り込む画像取り込み装置と、試料表面の画像を表示するディスプレイと、イオンミリングの終点を検知する終点判定装置とを備える透過型電子顕微鏡(TEM)用の試料を作製するためのイオンミリング装置であって、試料上の所望の領域の画像のみを選択することのできる機能が備えられていることを特徴とするイオンミリング装置。

IPC (4)：

H01L 21/3065 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/30

FI (4)：

H01L 21/302 D ,  G01N 1/32 B ,  H01J 37/30 Z ,  G01N 1/28 G

F-Term (9)：

5C034AA03 ,  5C034AB02 ,  5C034AB04 ,  5C034AB05 ,  5C034AB09 ,  5F004BA11 ,  5F004BB24 ,  5F004CB09 ,  5F004CB15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 薄膜試料作製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-312162   Applicant：日本電気株式会社
• 試料作製装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-001872   Applicant：日本電子株式会社