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J-GLOBAL ID：200903002803825449

チャック装置および光学処理装置

Inventor： 伊藤 道雄
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Agent (1)： 津川 友士
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995202309
Publication number (International publication number)：1997049789
Application date： Aug. 08, 1995
Publication date： Feb. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】 対象物をたわみが殆どない状態で吸着把持する。【解決手段】 透光性のある基板上に周期的構造を設けてなる対象物2面に接して該対象物2の所定位置をループ状に吸着把持するループ状の真空チャック機構1bと、前記対象物2の前記真空チャック機構1b側であって、かつ前記真空チャック機構1bにより包囲される空間の雰囲気圧力と、前記対象物2の前記真空チャック機構1bと反対側の空間に雰囲気圧力とを実質的に同一に保つ保圧手段1fとを有している。

Claim (excerpt)：

対象物(2)面に接して該対象物(2)の所定位置をループ状に吸着把持するループ状の真空チャック機構(1b)と、前記対象物(2)の前記真空チャック機構(1b)側であって、かつ前記真空チャック機構(1b)により包囲される空間の雰囲気圧力を、前記対象物(2)の前記真空チャック機構(1b)と反対側の空間に雰囲気圧力に対して実質的に同一以上に保つ保圧手段(1f)とを有していることを特徴とするチャック装置。

IPC (6)：

G01N 1/28 ,  G01B 11/30 ,  G01J 1/04 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (6)：

G01N 1/28 W ,  G01B 11/30 Z ,  G01J 1/04 H ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/68 P