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J-GLOBAL ID：200903002813631669

基板の欠陥検査方法および検査装置

Inventor： 田畑 高仁 ,  小泉 光義
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998131056
Publication number (International publication number)：1999014549
Application date： Apr. 24, 1998
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】表面に凹凸の段差のある基板の欠陥検査が可能な基板の欠陥検査方法および検査装置を提供することにある。【解決手段】段差の上面からすそ野部分の範囲が照射できる所定の俯角でかつ段差の形成方向に対して傾斜させ段差の両側からそれぞれ第1および第2の照射光学系により基板に対して設定される検査領域に光束を照射し、所定の俯角で第3の照射光学系により段差の形成方向と平行な方向から検査領域に対して光束を照射し、第1、第2および第3の照射光学系による検査領域からの散乱光を光学センサで受けてこの光学センサからの検出信号に基づいて基板の欠陥を検出するものである。

Claim (excerpt)：

多数の凹凸段差を表面に有する基板の欠陥を検査する基板検査方法において、前記段差の上面からすそ野部分の範囲が照射できる所定の俯角でかつ前記段差の形成方向に対して傾斜させ前記段差の両側からそれぞれ第1および第2の照射光学系により前記基板に対して設定される検査領域に光束を照射し、所定の俯角で第3の照射光学系により前記段差の形成方向と平行な方向から前記検査領域に対して光束を照射し、前記第1、第2および第3の照射光学系による前記検査領域からの散乱光を光学センサで受けてこの光学センサからの検出信号に基づいて前記基板の欠陥を検出する基板の検査方法。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G06T 7/00 ,  G09G 3/28 ,  H01J 9/42

FI (5)：

G01N 21/88 D ,  G01M 11/00 T ,  G09G 3/28 F ,  H01J 9/42 A ,  G06F 15/62 400