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J-GLOBAL ID：200903002817485713
可変開口分離フィルタおよびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 均
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998150680
Publication number (International publication number)：1999328715
Application date： May. 14, 1998
Publication date： Nov. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 フィルタ膜と位相調整膜との位相差の波長依存性を小さくするとともに、効率良くリフトオフ処理を行い、可変開口分離フィルタを安定かつ安価に製作するようにする。【解決手段】 フィルタ膜50と位相調整膜52とが多数の層で構成され、それぞれの膜については、TiO2 などの高屈折率材料からなる高屈折率層Hと、SiO2 などの低屈折率材料からなる低屈折率層Lとを交互に積層したものを基本構成とし、これらの最上層と最下層とに高屈折率層Hと低屈折率層Lとの中間の屈折率を持った、Al2O 3などの中間屈折率材料からなる中間屈折率層Mを配置する。また、これらのフィルタ膜50と位相調整膜52とをガラス基板60上に形成する際のリフトオフ処理工程で用いるリフトオフ用マスクとしては、アルミニウム100%の層と、アルミニウムに銅が添加された少なくとも2つの層を用いるようにする。
Claim (excerpt)：
フィルタ膜と位相調整膜とを備えた可変開口分離フィルタにおいて、前記フィルタ膜及び前記位相調整膜は、透過光の光軸方向にそれぞれ多数の層が積層されて構成されていることを特徴とする可変開口分離フィルタ。
IPC (2)：
FI (2)：
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