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J-GLOBAL ID：200903002823219219

ウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法

Inventor： 室伏 義郎 ,  堤田 裕二 ,  鈴木 直樹 ,  後藤 輝人 ,  舟山 信孝
Applicant, Patent owner： 東レフィルム加工株式会社
Agent (1)： 岩見 知典
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006322879
Publication number (International publication number)：2008138227
Application date： Nov. 30, 2006
Publication date： Jun. 19, 2008
Summary：

【課題】 蒸着開始時の低速度から定常速度までの間の蒸着膜厚を均一にすることにより、ロスを減少し生産性を向上することのできるウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法を提供する。 【解決手段】 減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御することを特徴とするウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法。 【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御することを特徴とするウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法。

IPC (1)：

C23C 14/24

FI (1)：

C23C14/24 U

F-Term (9)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB03 ,  4K029DB17 ,  4K029EA01 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 蒸着膜厚の制御装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-090460   Applicant：三菱重工業株式会社