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J-GLOBAL ID：200903002826614720
静電容量測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
加藤 朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997157734
Publication number (International publication number)：1998332753
Application date： May. 30, 1997
Publication date： Dec. 18, 1998
Summary：
【要約】【課題】半導体集積回路の内部回路の出力端子を内部回路の外側から見た静電容量を、静電容量測定するための特別な回路構成をとらずに測定可能とする方法の提供。【解決手段】測定対象の静電容量に十分電荷を蓄え、次に放電させる。この放電時の電流を測定することにより、静電容量を求める。即ち、スイッチを非導通状態に切り替え、出力端子の電位が論理的に“1”になるように電位制御手段を設定し、出力端子の電位の変化がなくなったなら前記出力端子の状態がハイインピーダンスになるように電位制御手段を設定し、スイッチを導通状態に切り替え、電流計を流れる電流が零になるまで前記電流計の電流を積分し、電流計を流れる電流が零になったら、積分結果から静電容量を求める。
Claim (excerpt)：
対象となる静電容量を持つ部分回路を含む電子回路と、前記電子回路に電荷を供給する電源装置と、前記部分回路の電位を切り替えるためのスイッチと、前記部分回路に蓄積された電荷を放電するための抵抗器と、前記抵抗器を流れる電流を検出する回路と、前記部分回路と前記抵抗器の接続点の電位を測定するための電圧計と、を備え、前記部分回路と前記抵抗器とは絶縁され、前記電圧計が前記部分回路の端子に接続されている状態にする第1のステップと、前記部分回路の電位が高い状態になるように前記スイッチを切り替える第2のステップと、前記部分回路の電圧が安定した時点の電圧値を保存する第3のステップと、前記部分回路がハイインピーダンス状態になるように前記スイッチを切り替える第4のステップと、前記部分回路に前記抵抗器の一端を接続し他端はグランドに接続する第5のステップと、前記部分回路の電圧がグランド電位と同じになるまで前記抵抗器を流れる電流を測定する第6のステップと、測定と同時に電流値の積分する第7のステップと、を順に実行することにより静電容量を測定する方法。
IPC (2)：
FI (3)：
G01R 27/26 C
, G01R 31/26 G
, G01R 31/26 B
