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J-GLOBAL ID：200903002834590997

電子顕微鏡システム

Inventor： 木本 高義
Applicant, Patent owner： 科学技術庁金属材料技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998274098
Publication number (International publication number)：2000106120
Application date： Sep. 28, 1998
Publication date： Apr. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 低温および高温環境下でも高分解能で試料の観察を行なうことのできる、新しい電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 パルス電圧印加手段(36)、マイクロチャネルプレート(4)、およびCCD撮影機(6)が備えられており、パルス電圧印加手段(36)によりマイクロチャネルプレート(4)に短時間幅のパルス電圧が印加され、マイクロチャネルプレート(4)に入力された電子顕微鏡像(3)が印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力され、この短時間幅での連続電子顕微鏡像(3)がCCD撮影機(6)により順次撮影される。

Claim (excerpt)：

パルス電圧印加手段、マイクロチャネルプレート、およびCCD撮影機が備えられており、パルス電圧印加手段によりマイクロチャネルプレートに短時間幅のパルス電圧が印加され、マイクロチャネルプレートに入力された電子顕微鏡像が印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力され、この短時間幅での連続電子顕微鏡像がCCD撮影機により順次撮影されることを特徴とする電子顕微鏡装置。